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“冰刻”术如何在纳米材料上雕刻?
“这个发明,在传统的基于化学光刻胶的电子束光刻纳米加工领域,开辟了一条崭新的、具有重大发展与应用前景的技术路线。” 复旦大学信息学院微纳系统中心陈宜方表示。
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“这个发明,在传统的基于化学光刻胶的电子束光刻纳米加工领域,开辟了一条崭新的、具有重大发展与应用前景的技术路线。” 复旦大学信息学院微纳系统中心陈宜方表示。