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中国科学院上海微系统与信息技术研究所原名中国科学院上海冶金研究所,前身是成立于1928年的国立中央研究院工程研究所,是我国最早的工学研究机构之一。2001年8月,根据科研领域和科技发展目标的调整,更名为中国科学院上海微系统与信息技术研究所(以下简称上海微系统所)。
上海微系统所现有传感技术、信息功能材料、微系统技术三个国家级重点实验室,有无线传感网与通信、太赫兹固态技术两个中科院重点实验室,并依托上海微系统所成立了中国科学院超导电子学卓越创新中心。
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